全自动晶圆盒清洗机(Fully Automated FOUP Cleaner)

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半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机(Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner)


适用场景:在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥
设备特点:
1、清洗对象:12寸 FOUP
2、设备主要构成:清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成
3、清洗能力:24只 FOUP/小时(依配置的清洗腔中真空腔数量而定)
4、干进干出;
5、可与AMHS对接、可人工上料;
6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗;
7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能;
8、可预设多条Recipe,操作简洁;
9、选配SECS/GEM接口;
10、实时记录生产数据,多种数据分析功能;
11、可实现工件数据追溯,具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
12、设备外形尺寸:L 4000mm X W 3600mm X H 3300mm